高精度闭环线性反馈XYZ电动载物台
| MS-4400高精度闭环线性反馈XYZ载物台（用于正置显微镜） |
| MS-4400经专业设计，可以实现高分辨率、高重复精度X/Y方向位移。配合ASI品质验证的Z轴马达驱动器，可实现完整的X/Y/Z方向的精确定位。所有轴通过采用闭环直流伺服电机，通过高分辨率旋转编码器用于定位反馈获得它们的精确控制，从而避免了在开环控制载物台中经常出现的多次移动后的位置偏移现象。MS-4400控制器可通过RS-232和USB与计算机通讯。 |
| 技术特点： |
| - XY方向行程：100mm X 100mm |
| - XY方向步进精度：22nm |
| - XY方向线性回馈往复精度：<700nm |
| - XY方向最大移动速率：7mm/sec |
| - Z方向步进精度：50nm |
| - Z方向往复精度：+/-100nm |
| - Z方向最大移动速率：0.6mm/sec |
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载物台
